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信和光柵尺:精密位移測量的“光學標尺”

更新時間:2026-01-23  |  點擊率:7
在數控機床、精密測量儀器、電子制造設備、半導體光刻機等對超高精度、高分辨率、高速度有嚴苛要求的領域,光柵尺是閉環位置控制系統中應用的反饋元件。它利用光學的莫爾條紋原理,將機械位移轉化為高精度的數字信號。在眾多品牌中,信和作為光柵制造商之一,其光柵尺產品以其精度、分辨率、優異的信號質量和可靠性,成為精密設備實現納米級定位控制的核心“光學標尺”。

一、核心原理:光的干涉與莫爾條紋

光柵尺的測量基礎是光柵副產生的莫爾條紋:

1.光柵尺:系統的“尺身”。通常是一根玻璃尺或鋼帶尺,其表面通過光刻工藝制作了納米級精度的、等間距的明暗相間刻線(柵線)。常見柵距有20μm、40μm等。

2.讀數頭:系統的“眼睛”。內部包含光源、指示光柵和光電接收元件。指示光柵上有與主光柵尺柵距相同但略有傾斜的刻線。

3.莫爾條紋與信號產生:

?當讀數頭沿光柵尺移動時,主光柵與指示光柵的刻線產生相對移動,由于光的干涉和衍射,會在指示光柵后方產生明暗相間的莫爾條紋。莫爾條紋的間距遠大于光柵柵距。

?光電元件(通常是四相硅光電池)檢測莫爾條紋的明暗變化,輸出相位相差90°的正弦和余弦信號。

?通過電子細分技術,對一個柵距內的正弦波信號進行高倍細分(如2048倍、4096倍),可將分辨率提高至納米級(如將20μm柵距細分為0.01μm,即10nm)。

?通過比較兩路正弦信號的相位關系,還可判斷移動方向。

二、信和光柵尺的技術精粹

信和憑借其深厚的光學設計和制造底蘊,在以下方面表現突出:

1.精度與極低的細分誤差:

?先進的刻線工藝:采用激光干涉光刻等技術制造光柵尺,確保柵距的均勻性和直線度達到水平,從而保證了系統精度(如±3μm/m,±5μm/m)。

?優異的信號質量:讀數頭輸出的正弦/余弦信號正交性好、諧波失真小、直流電平漂移小。這為后續電子細分提供了原始信號,是實現高分辨率、低細分誤差和高速度響應的基礎。

2.高可靠性與環境適應性:

?密封設計:讀數頭和光柵尺采用接觸式或非接觸式密封,可達到IP53、IP64等防護等級,能有效防油、防塵、防濺水。

?熱穩定性:提供零膨脹玻璃基底或低膨脹合金基底的光柵尺,與鋼制膨脹補償光柵尺,以匹配不同機床(鋼、鑄鐵)的熱膨脹系數,減少熱誤差。

?抗污染:讀數頭與光柵尺之間的間隙較大(可達1mm),對油污、灰塵的容忍度比某些緊湊型設計更高。

3.豐富的產品線:

?開放式光柵尺:精度高,成本相對較低,但需用戶自行加裝防護。

?封閉式光柵尺:自帶密封外殼,防護等級高,安裝簡便。

?絕對式光柵尺:除了增量位置,還能提供絕對位置編碼,開機無需回零,適用于需要防止斷電位置丟失或冗余安全的應用。

三、核心應用與價值

1.高精度數控機床:是加工中心、數控磨床、坐標鏜床、數控車床實現微米級甚至亞微米級加工精度的關鍵保證。

2.精密測量設備:三坐標測量機、激光干涉儀、影像測量儀的核心長度基準。

3.半導體與電子制造:光刻機、探針臺、晶圓切割機、PCB鉆床等,對納米級定位和高速響應要求。

4.科學儀器:同步輻射光源、天文望遠鏡等需要超長行程、超高精度定位的裝置。

從制造芯片的納米級電路,到加工航空航天器的精密部件,再到檢驗微觀世界的幾何尺寸,其背后都離不開信和光柵尺所定義的精準空間坐標。它不僅是機器的“眼睛”,更是現代精密工程實現極限性能的基石,是驅動制造業向更高、更精、更尖方向發展的核心“光學度量衡”。 

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